第70章 芯片制造之旅（一）（2 / 2）

“机械运动系统至关重要。光刻机的工作台需要具备极高的精度和稳定性，能够在纳米级别上精确移动。我们需要设计一套精密的导轨和丝杆传动系统，导轨的直线度误差要控制在微米级别以内，丝杆的螺距精度也要达到同样的标准。为了实现更精准的控制，还需要配备高精度的传感器，实时监测工作台的位置，并反馈给控制系统进行微调。”悟空详细地解释着。

玉龙点了点头，深知这其中的难度：“那光学系统呢？这应该是光刻机最核心的部分了吧。”

“没错。光学系统是光刻机的重中之重。我们需要制造一系列高精度的光学镜片，这些镜片要具备极低的像差和高透光率。尤其是物镜，它直接决定了光刻的分辨率。我们要采用特殊的光学材料，比如氟化钙晶体，通过精密的研磨和抛光工艺，将镜片的表面精度控制在纳米级别。此外，还需要设计一套复杂的光学矫正系统，来补偿光线在传播过程中的各种误差。”

玉龙深吸一口气，虽然困难重重，但眼中却充满了坚定：“好，我们先从光源系统开始着手。”

随后，玉龙来到自动化操作台面前，在悟空的指导下开始操作。自动化操作台的屏幕上闪烁着各种参数和指令，玉龙的手指在操作台上快速滑动，输入一系列指令。

“悟空，按照你说的，我准备先构建气体放电腔的三维模型，看看设计上还有哪些需要优化的地方。”玉龙专注地盯着屏幕说道。

“好，在构建模型时，注意腔壁的厚度和材质选择，这会影响到气体放电的稳定性。腔壁材质我们选择耐高温、耐高压且绝缘性能良好的陶瓷材料，厚度控制在 5 毫米左右。”悟空回应道。

玉龙按照悟空的建议，在操作台上调整参数，很快，一个气体放电腔的三维模型出现在屏幕上。他们从各个角度观察模型，仔细分析每一个细节。

“你看，悟空，这个地方的结构设计可能会影响气体的均匀分布，我们是不是需要调整一下？”玉龙指着模型的一个部位说道。

“没错，把这个拐角处设计成弧形，能让气体流动更加顺畅。”悟空说道。

玉龙迅速在操作台上进行修改，经过多次调整和模拟，气体放电腔的模型终于达到了他们预期的效果。

接下来，便是利用自动化操作台制造气体放电腔的实体。

玉龙启动材料输送装置，将陶瓷材料送入加工区域。

自动化设备的机械臂开始忙碌起来，切割、打磨、组装，每一个步骤都在精确地进行着。

在制造过程中，悟空时刻监测着各项数据：“注意温度控制，加工过程中温度不能超过 500 摄氏度，否则会影响陶瓷材料的性能。”

玉龙密切关注着温度数据，及时调整设备参数，确保加工过程顺利进行。

经过数小时的努力，气体放电腔的实体终于制造完成。玉龙将它从操作台上取下，仔细检查每一个细节，脸上露出了满意的笑容。

“悟空，接下来我们要测试这个气体放电腔是否能产生符合要求的光源。”玉龙说道。

“好，连接电源和气体输送系统，先将氟气和氩气按照 1:3 的比例注入腔内，然后逐渐增加放电电流，注意观察光源的情况。”悟空有条不紊地指挥着。